微机械压力传感器的打开方向

2019-05-09 11:20:59

微机械压力传感器也是传感器的一种,微机械压力传感器是最早开始研发的微机械产品,也是微机械技能中最老到、最早开始产业化的产品。进来微机械压力传感器的技能不跋涉,功用也越来越全部,运用的计划也是越来越广泛。现阶段微机械压力传感器的打开方向首要分为4个方向,下面小编就来为我们详细介绍一下是那4个方向吧。

 

其一是将活络元件与信号处置、校准、抵偿电路及微控制器等进行单片集成,研发智能化的微视械压力传感器。

 

其二是进一步跋涉活络度,结束低量程的微机械压力传感器。这种微压传感器用于脉动风压、流量和密封件走漏量标识等范畴。

 

其三是跋涉作业温度,研发高低温微机械压力传感器。压阻式微机械压力传感器因为受Pn结耐温捆绑,只能用于120度以下的作业温度,然而在许多范畴火燎需求可以在高低温下正常作业的微机械压力传感器,例如磁量锅炉、管道、高温容器内的压力,井下压力和各种发动机腔体内的压力。其时对高温微机械压力传感器的研讨首要包含合金薄膜溅射微机械压力传感器,高温光纤微机械压力传感器,高温电容式微机械压力传感器等。

 

其四是开发谐振式微机械压力传感器。谐振式微机械压力传感器除了具有一般微机械压力传感器的利益外,还具有准数字信号输出,抗干扰能力强,分辨率和丈量精度高的利益。硅谐振式微机械压力传感器的鼓动检测方法有电磁激放电磁拾振、静电鼓动电容拾振、逆压电鼓动压电拾振、电热鼓动压敏电阻拾振和光热鼓动/光信号拾振。其间,电热鼓动/压敏电阻拾振的谐振式微机械压力传感器价格低廉,与工业IC技能兼容,可将活络元件与信号调度电路集成在一块芯片上,具有诱人的运用远景。这种传感器的温度穿插活络度较大,为此计划了一种具有温度抵偿功用的复合谐振式微机械压力传感器。

 

谐振器由在同一硅片上制造的微桥谐振器和微悬臂梁谐振器组成,微桥谐振器和微悬劈梁谐振器资料一样,厚度持平或附近,制造技能完全一样,一起制造,因此两者对温度改动可以同步照顾。经过数据交融技能,作为温敏元件的微悬臀粱谐振器的谐振频率实时抵偿温度改动对微桥谐振器谐振频率的穿插活络度。经抵偿的谐振式微机械压力传感器的温度穿插活络度减小了两个数量级。光热鼓动光信号拾振的谐振式微机械压力传惑用具有抗电磁干扰、防爆等利益,是对电热鼓动压敏电阻拾振的谐振式微机械压力传感器的有利抵偿,可是需求杂乱的光学系统.不易结束,本钱较高。

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